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J-GLOBAL ID：201602005271878698   整理番号：70A0248912

「半導体表面」の意味するもの

著者 (2件)： 武石喜幸 ,  飯塚尚和
資料名： 電子材料  (Electronic Parts and Materials)
巻： 9  号： 10  ページ： 35-40  発行年： 1970年 
JST資料番号： F0040A  ISSN： 0387-0774  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体表面の電気的特性を特徴づけるものは表面準位である。表面準位には速い表面準位,遅い表面準位,表面内部の欠陥や不純物,があり,表面現象に関して多くの実験結果が発表されているが,表面準位を完全に説明できる理論はまだない。Si表面は真空中でも比較的速かに酸化膜を形成し,表面パシベーションに使える。このSi酸化膜の利用でMOSFETが実現した;写図7

シソーラス用語： 酸化膜 ,  半導体 ,  表面準位

タイトルに関連する用語 (2件)： 半導体表面 ,  意味