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J-GLOBAL ID：201602005664137240   整理番号：70A0091452

IC用マスク寸法自動測定機

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資料名：
機械振興  (Promoting Machine Industry in Japan)

機械振興 について


巻： 3  号： 7  ページ： 85-90  発行年： 1970年 
JST資料番号： G0454A  ISSN： 0389-9500  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
抄録/ポイント：
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本機はICの製造工程の中で重要な役割をはたすフォトマスク原板の測定を自動化,省力化する目的で開発された測定機である。測定はマスクをテーブルにセットし,XYテーブルを送るのみでパターンの位置検出,読取り,計算記録がすべて自動的に行なわれるため測定時間は大幅に短縮され個人誤差の入りこむ余地がなく,精度的にも向上が期待される。オリンパス光学工業製;写図6
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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フォトマスク

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集積回路

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寸法

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測定機

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