ホトレジスト中に回折格子を記録するための実験技術

BEESLEY M J; CASTLEDINE J G

文献

J-GLOBAL ID：201602005737018970 整理番号：72A0010234

ホトレジスト中に回折格子を記録するための実験技術

Some experimental techniques for the recording of diffraction gratings in photoresist.

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資料名：
ページ： 11.2(1)-11.2(4) 発行年： 1970年
JST資料番号： K19700133 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：フランス (FRA) 言語：英語 (EN)

ShipleyAZ-1350を用いてホログラム回折格子記録の実験を行なった。AZ-1350と基板との接着をよくするために,基板からゴミや脂肪を除くと共に,水を完全に除く必要があり,そのための処理を詳しく述べる。レジストを塗布した基板を予め水銀灯で前露光した後ホログラム記録すると露光時間と散乱光を低減できる。レジスト上に記録された干渉じまの電顕写真を示す;写図4参3

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