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J-GLOBAL ID：201602005760892512   整理番号：72A0000263

ディジタル干渉計

Цифровой интерференцнонны й прибор.

著者 (1件)： ШЕСТОПАЛОВ Ю Н
資料名： Izmer Tekh  (Izmeritel'naya Tekhnika)
号： 12  ページ： 29-31  発行年： 1971年 
JST資料番号： R0040A  ISSN： 0368-1025  CODEN： IZTEA   資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 旧ソビエト連邦 (SUN)  言語： ロシア語 (RU)

抄録/ポイント： 測定誤差約0.011μmで変位を測定することができるディジタル干渉計について述べた。ディジタル干渉計の動作原理とその構成について説明し,その特徴について記述。ランダム測定誤差の影響は,多重測定,たとえば本装置と光電顕微鏡との間にコミュテータを接続することによよって比較的簡.単に除去できる;写図2参4

シソーラス用語： ディジタル計測器 ,  干渉計 ,  長さ測定

タイトルに関連する用語 (2件)： ディジタル ,  干渉計