抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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マイクロ工学において,溶接およびせん孔などに,電子ビームおよびレーザーを利用すう作業の可能性と応用範囲について述べる。両方法はビームの優れた収束能と電力の高密度という特徴があり,マイクロ工学に適している。論文では,マイクロ工学における材料の大きさ,装置の特性および2つの型のビームの相違などについて考察し,いろいろの実用性についても紹介する;写図10参23