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J-GLOBAL ID：201602005816448840   整理番号：71A0243469

感光性レジスト

Photosensitive resists.
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著者 (1件)：
PETER A E

PETER A E について


資料名：
IBM Tech Disclosure Bull  (IBM Technical Disclosure Bulletin)

IBM Tech Disclosure Bull について


巻： 13  号： 5  ページ： 1146  発行年： 1970年 
JST資料番号： E0292B  ISSN： 0018-8689  CODEN： IBMTA   資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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特に未露光のリストンフォトレジストの粘着性は.選択性をもつ接着剤として使うと便利である。 レジストは感熱接着剤として全面に塗り.選択的に露光し現象する。 レジストは直線に沿ってはく離し,接着した素子間を落さなくてもよいので好都合である。 この方法は.下地が導体で引き続いて電気めっきを行なうとき有効である
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シソーラス用語/準シソーラス用語
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フォトレジスト

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