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J-GLOBAL ID：201602005876222956   整理番号：70A0249261

SFT応力変換素子について

著者 (5件)： 小田富士夫 ,  小幡修一 ,  松尾耕次 ,  富岡たつ行 ,  田ロ信義
資料名： Natl Tech Rep  (National Technical Report)
巻： 16  号： 3  ページ： 303-312  発行年： 1970年 
JST資料番号： G0474A  ISSN： 0028-0291  CODEN： NTROA   資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： SFT応力変換素子は耐熱性プラスチック,ボリイミドの薄膜を基板とし,その上に適当な金属不純物を導入したゲルマニウムを真空蒸着法により形成したことを特徴とするピエゾ抵抗素子である。この開発に際しては,音響変換器としての応用を目的としたため,ピエゾ抵抗効果を最大にすると同時に雑音量を極小化する条件を見いだすことに研究の主眼が置かれた。この結果,非常に高いコンプライアンス,軽質量といった他の特徴もあわせて新しい原理によるピツクアツブの設計が可能になり,自由端をもつバタフライ形素子をカンチレバーに結合するという新規の機械構造が開発された;写図11表7参19

シソーラス用語： ピックアップ ,  半導体薄膜
準シソーラス用語： ピックアップ(半導体蒸着薄膜/圧電効果素子) ,  圧電効果素子 ,  圧電抵抗効果 ,  圧電抵抗効果(応力変換素子/半導体蒸着薄膜) ,  応力変換素子 ,  応力変換素子(圧電抵抗効果/半導体蒸着薄膜) ,  半導体蒸着薄膜 ,  半導体薄膜(応力変換素子/圧電抵抗効果)

タイトルに関連する用語 (1件)： 変換素子