抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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[加工表面の寸法や平たん度などの検査研究に光波の干渉を利用して行なうことについて原理的の説明を行ない,この最近の技術水準を述べ,アンチモニーのガラス上沈殿膜を例にとって干渉縞目のあらわれ方を説明している;写8図1参7]