抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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炭化クロム薄膜を金属クロムとプロパン-水素混合ガスとの600~800°Cでの加熱にもとずく反応を利用して石英表面上に析出させ,その若干の性質について検討。この場合反応の初期段階においては透明な,誘電性を示す水素化クロム薄膜が得られ,この薄膜が続いて炭化されて炭化クロム薄膜となる。この他,炭化クロム薄膜は水素を用いずにプロパンのみを用いても調製することができる。なおこのようにして得られた炭化クロム薄膜は電気伝導度が高く,透明度が低く,赤外線領域における反射係数が非常に大きい;写図3表1参7