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J-GLOBAL ID：201602006031362291   整理番号：62A0022544

結晶の平衡成長形およびエッチングで得られる最終外形の予測への自由エネルギー定理の利用

Use of modified free energy theorems to predict equilihrium growing and etching shapes.

著者 (1件)： JACCODINE R J
資料名： J Appl Phys  (Journal of Applied Physics)
巻： 33  号： 8  ページ： 2643-2647  発行年： 1962年 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA) 

抄録/ポイント： 結晶をエッチすることで得られる最終的外形に対して,いわゆるhillockおよびエッチング孔の安定性,それらを形成する結晶面の問題とも関連して,エネルギー論的に考案を加えた。実験的に,いろいろな晶帯軸をもつゲルマニウム結晶をエッテして“平衡横断面”をあらわした。これらの結果は本法により構成したものとよい一致を示した;写3図2参17

タイトルに関連する用語 (8件)： 結晶 ,  平衡 ,  成長 ,  エッチング ,  外形 ,  予測 ,  自由エネルギー ,  定理