抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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光のビームの変位を測定する方法としてのV形スリット法と分割形フォトセル法の原理と欠点について論じた後,両者を組合せた新しい測定法を紹介した。この方法は分解能と直線性にすぐれ,特に適宜な光の強さ分布をもつ光源にも使用できる特長がある。またこの方法を用いると広い範囲の伝達関数(電気出力対変位)がえられ,直線系では5μmの分解能で15mmの変位測定が可能であった;写図7参2