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J-GLOBAL ID:201602006036138527   整理番号:71A0008248

新しい光学的変位測定法

A new system for optical displacement measurement.
著者 (1件):
資料名:
巻:号: 11  ページ: 895-898  発行年: 1970年 
JST資料番号: C0354B  ISSN: 0022-3735  CODEN: JPSIAE  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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光のビームの変位を測定する方法としてのV形スリット法と分割形フォトセル法の原理と欠点について論じた後,両者を組合せた新しい測定法を紹介した。この方法は分解能と直線性にすぐれ,特に適宜な光の強さ分布をもつ光源にも使用できる特長がある。またこの方法を用いると広い範囲の伝達関数(電気出力対変位)がえられ,直線系では5μmの分解能で15mmの変位測定が可能であった;写図7参2
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