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J-GLOBAL ID：201602006081946405   整理番号：70A0246139

LSI技術への信頼度要求の圧力

The impact of reliability requirements on LSI technology.

著者 (3件)： SCHNABLE G L ,  KEEN R S ,  SCHLACTER M M
資料名： Dig Tech Pap IEEE Int Sol  (Digest of Technical Papers. IEEE International Solid-State Circuits Conference)
巻： 13  ページ： 146-147  発行年： 1970年 
JST資料番号： D0753A  ISSN： 0193-6530  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 予稿  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： LSIの開発によって電子回路の信頼性が向上した。しかしLSIの信頼性保証には新しい技術が必要で,位相差顕微鏡,走査形電子顕微鏡.赤外線放射プロッタなどの測定器を使用する。双極型トランジスタを主体とする回路は,特に薄膜抵抗素子の抵抗値増大の影響を受けやすく.導体の断線や層間短絡が故障の主原因である。MOSトランジスタを主体とする回路では,表面のもれ電流や短絡が故障の主原因である。在来素子の回路とくらべてLSIは,素子あたりの故障率は若干大きいが.回路あたりの故障率は小さい;写図4

シソーラス用語： LSI ,  信頼性
準シソーラス用語： 信頼性(LSI)

タイトルに関連する用語 (2件)： LSI ,  信頼度