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J-GLOBAL ID：201602006146779366   整理番号：71A0041968

極めて平滑な表面仕上けを有するアルミナ基板

Alumina substrates with very good surface finish.

著者 (3件)： HILL G J ,  STRUDWICK P ,  BARNETT M J
資料名： Proc Br Ceram Soc  (Proceedings of the British Ceramic Society)
号： 18  ページ： 263-270  発行年： 1970年 
JST資料番号： B0791A  CODEN： PBRCA   資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 厚膜素子用アルミナ基板の表面は高度な平滑度を必要とする。従来サファイヤや特別調製のアルミナ磁器を研摩して用いていたが高価であり.大型のものができなかった。ホットプレス法でこの問題を解決した。この方法によ1)CLA〔》.010μmの平滑’度と99%以上の密度を有する基板が得られた。ホットプレス装置の構造を詳記した。特にスペーサーの材質と表面状態が製品の品質に大きく影響する。カーボランダムで研摩したカーボンが最も良かつた。このアルミナ基板に厚膜抵抗をプリントして焼成した後の特性を検討した;写図3表2参5

シソーラス用語： ホットプレス ,  表面粗さ ,  膜
準シソーラス用語： アルミナ基板 ,  ブリノト配線板 ,  平滑度

タイトルに関連する用語 (2件)： 表面仕上 ,  アルミナ基板