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J-GLOBAL ID：201602006302740939   整理番号：72A0029944

固溶体の真空蒸着のための等温エフユージョン

Isothermal effusion sources for vacuum deposition of solid solutions.

著者 (4件)： HOLLOWAY H ,  HOHNKE D K ,  CRAWLEY R L ,  WILKES E
資料名： J Vac Sci Technol  (Journal of Vacuum Science & Technology)
巻： 7  号： 1  ページ： 586-588  発行年： 1970年 
JST資料番号： C0789A  ISSN： 0022-5355  CODEN： JVSTAL  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 固溶体の真空蒸着のためのエフユージョン技術について述べた。二個のエフユージョンセルを使用し,これらのセルの温度変化はフェイズが同じになるように配置されている。この温度変化の状態について理論的に検討した。この方法をW-W化合物の固溶体の蒸謝こ応用した;写図1参8

シソーラス用語： 固溶体 ,  真空蒸着 ,  噴散

タイトルに関連する用語 (2件)： 固溶体 ,  真空蒸着