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J-GLOBAL ID：201602006451370982   整理番号：71A0131283

気体ふっ化物の還元によるモリブデン上へのモリブデン,タングステンの同時蒸着エピタクシー成長

Croissance epitaxique de codepots molybdene-tungstene sur molybdene par reduction des fluorures gazeux.

著者 (6件)： GILLARDEAU J ,  FARON R ,  BARGUES M ,  HASSON R ,  DEJACHY G ,  DURAND J P
資料名： J Cryst Growth  (Journal of Crystal Growth)
巻： 9  号： May  ページ： 255-262  発行年： 1971年 
JST資料番号： B0942A  ISSN： 0022-0248  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： フランス語 (FR)

抄録/ポイント： 低圧,高温でのMoF₆とWF₆の水素還元による方法で,モリブデン基板上のモリブデンータングステン合金のエピタクシー成長を研究。これらの条件でつくられる蒸着膜では与えられたモリブデンの粒子に配向しているが.同一配向の近接核からなるように見える。低い(H₂/MoF₆tWF₆)比ではエピタクシー膜に見られるひび割れが消失する;写図10参7

シソーラス用語： エピタクシー ,  蒸着
準シソーラス用語： タンクステン合金 ,  モリフテン合金

タイトルに関連する用語 (7件)： 気体 ,  ふっ化物 ,  還元 ,  モリブデン ,  タングステン ,  同時蒸着 ,  エピタクシー成長