抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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ホール効果によるホール素子の原理を述べ素子の特性上問題となる点を示し.市販ホール素子の概要を紹介した。 抵抗率が小さく比較的再結晶化しやすいInSbの蒸若薄膜を用いた蒸若薄膜ホール素子,磁気異方性を示すホール素子,MOS技術を応用したホール素子”マグフェット’9などを紹介した;写図10表4参4