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J-GLOBAL ID：201602006912071761   整理番号：72A0392758

マイクロイメージング講座 III ICメーカーの要求するマイクロイメージ

著者 (1件)： 伝田精一 (サンケン電気)
資料名： 日本写真学会誌  (日本写真学会会誌)
巻： 34  号： 3  ページ： 172-179  発行年： 1971年 
JST資料番号： G0165A  ISSN： 0369-5662  CODEN： NSGKAP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN) 

抄録/ポイント： 微小なシリコン片にフォトエッチングして微細な電子回路を形成させた集積回路(IC)の製造に要求されるマイクロ写真技術,製造上の問題点および今後の技術動向について記述.

タイトルに関連する用語 (4件)： イメージング ,  IC ,  メーカー ,  イメージ