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J-GLOBAL ID:201602006919162878   整理番号:65A0085479

よう化物法による成長しつつあるゲルマニウムの層の合金化

Легирование растущих слоев германия в иодидном методе.
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資料名:
巻: 39  号:ページ: 1248-1251  発行年: 1965年 
JST資料番号: R0136A  ISSN: 0044-4537  CODEN: ZFKHA   資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: 旧ソビエト連邦 (SUN) 
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ゲルマニウムのエビタクシー層のよう化物による合金化の機構は低いよう化度の合金化する元素の異性化反応を含んでいる。出発時の気体混合物の組成はよう化ゲルマニウムと混合物の相互作用により決定される
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