抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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ごく微量のガスの流量を測定する方法についての解説記事で,流量は0.06m
3/h程度。所要の多孔性ダイヤフラムを利用した測定装置を用いる方法で,この程の測定によって,精度は,0.006m
3/hまでを確保しうる。測定測置の回路とその構成要素,その性能曲線について解説;写図7参8