抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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MOSトランジスタに印加されるゲートパルスは,サプス.トレートへの電荷の流れを引きおこす。この効果を検討してMOSゲートコントロールダイオード構造における電荷ポンピング現象が明ちかとな.った。この理論について述べられており,注入された電荷が二緯類甲に区分されるとしている。一つはゲートの下のSi-Sio
2界面における表面準位をとおしてカップリングが行なわれ,他はブリーな反転.層電荷と再結合をしてサプストレートに移動する;写図11参10