抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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弱い静電界浸レンズの球面収差は,プレートの間隔を固定した場合にはオブジェクト距離を短かくすることにより,またオブジェクト距離を固定した場合にはプレ-ト間隔を長くすることにより,そして電極の形状について十分に注意することにより減少できる。しかしある条件の下では,電極の形状は球面収差にほとんど影響しない;写図6参12