抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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200-1000ΩCm,りん添加n型シリコン表面障壁型検出器(7×7mm
2)に電子〓ァン・ド・グラーフより500-1000KeV電子を10
14~10
18cm
-2照射し,検出器のPo-dスペクトル,V-I,V-C特性変化を調べた。スペクトルは10
14cm
-2から劣化が始まりダブルピークが見られる。これはバイアス電圧,アンプ時定数により変化する。もれ電流は線量に対して単調な変化でない。容量は単調に減少し,5×10
16cm
-2で飽和しバイアスに依存しない一定値を示す。これらから電子損傷は電子トラップを生ずるアクセプタ型である。低比抵抗ほど損傷の起りにくいことも示している(著者)