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J-GLOBAL ID：201602007957473450   整理番号：71A0103026

2ビーム干渉計によるブロックゲージの測定用空気式コンパレータ

Пневматический компенсатор для измерения концевых мер к двухлучевому интерферометру.

著者 (3件)： ВОЛКОВА Е А ,  БУСЛАЕВА В Е ,  БАСЕНЗОН А Я
資料名： Izmer Tekh  (Izmeritel'naya Tekhnika)
号： 7  ページ： 15-16  発行年： 1971年 
JST資料番号： R0040A  ISSN： 0368-1025  CODEN： IZTEA   資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 旧ソビエト連邦 (SUN)  言語： ロシア語 (RU)

抄録/ポイント： ブロックゲージの測定に用いられる2ビーム干渉計の空気式コンパレータの構成について述べた。本コンパレータの使用によって,長さ測定の際の測定誤差を0.002μmまでに減少させることができた。空気式コンパレータの動作原理と主な特性をあきらかにした;写図2表1参2

シソーラス用語： ブロックゲージ ,  干渉計 ,  長さ測定

タイトルに関連する用語 (4件)： ビーム ,  干渉計 ,  ブロックゲージ ,  コンパレータ