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文献
J-GLOBAL ID:201602008002599870   整理番号:68A0075207

低温面上のチタン蒸着膜による超高真空の作成

Production dultravide par dpt de titane sur une surface froide
著者 (2件):
資料名:
号: 125  ページ: 71-87  発行年: 1968年
JST資料番号: B0117B  ISSN: 0007-4543  CODEN: BUIAA   資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: フランス (FRA) 
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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低温面上に析出したチタン膜の活性度は非常に大きく,空気や水素に対して10l/s・cm2排気速度を得ることは可能である。表面の活性度は数層で限界に達する。しかし水素の場合は内部に拡散してゆくので,低温できえ吸着量を著しく増す。限界圧力は10-10Torrの圧力より低い。ここでは低温面におけるチタン蒸着ポンプの技術すなわち蒸発器,低温面,補助ポンプなどについて述べる。このポンプはプラズマ研究装置用に作られた。排気速度は106l/sである;写図18参6
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