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J-GLOBAL ID：201602008050669562   整理番号：73A0033819

白色光干渉計による膜厚測定

White-light interferometric thickness gauge.

著者 (3件)： FLOURNOY P A ,  McCLURE R W ,  WYNTJES G
資料名： Appl Opt  (Applied Optics)
巻： 11  号： 9  ページ： 1907-1915  発行年： 1972年 
JST資料番号： B0026B  ISSN： 0003-6935  CODEN： APOPAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 可動反射鏡をもったMicheson干渉計を用いて,白色光フリンジの位置から基板,またはその上面の薄膜層の厚さを求める。2.5~500μmの膜厚を1%の精度で測定できる。サンプルレートは毎秒200回,屈折率はL4~1.80の間で使用される。散乱性の薄膜の場合でも,精度は落ちるが測定可能である;写図14参7

シソーラス用語： Michelson干渉計 ,  屈折率 ,  白色光
準シソーラス用語： 膜厚測定

タイトルに関連する用語 (3件)： 白色 ,  光干渉計 ,  膜厚測定