抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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薄膜回路のためのクロスオーバのアレイをボリイミド膜上にバッチ製作する方法を述べた。クロスオーバは最終的には,バッチボンディング技術によって薄膜回路基板上に移される。クロスオーバ製作過程,ポンディング法,この方法の基本的な利点について論述した。この方法によって,低価格で,信頼性の高い,歩どまりの良いクロスオーバが得られる;写図7参5