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J-GLOBAL ID:201602008128882756   整理番号:72A0258273

薄膜回路用クロスオーバボンディング

Bonded crosso vers for thin film circuits.
著者 (1件):
資料名:
巻: 21  ページ: 310-313  発行年: 1971年 
JST資料番号: H0393A  CODEN: PECCA   資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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薄膜回路のためのクロスオーバのアレイをボリイミド膜上にバッチ製作する方法を述べた。クロスオーバは最終的には,バッチボンディング技術によって薄膜回路基板上に移される。クロスオーバ製作過程,ポンディング法,この方法の基本的な利点について論述した。この方法によって,低価格で,信頼性の高い,歩どまりの良いクロスオーバが得られる;写図7参5
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