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J-GLOBAL ID：201602008287173960   整理番号：71A0277498

統計学的方法を用いての,Si単結晶の成長に関する研究

Исследование статистическими методами выращивания монокристаллов кремния.

著者 (10件)： АДЛЕР Ю П ,  БРОНШТЕЙН И К ,  ВОРОНОВ И Н ,  ГЕЛФАГТ Г Н ,  КАДЕР Е М ,  КАЗИМИРОВ Н И ,  РАТНЕР А И ,  СЛОБОДЧИКОВА Р И ,  ТАРАНТУЛЬ А Н ,  ЧЕРНИНА И В
資料名： Tsvetn Met  (Tsvetnye Metally)
巻： 44  号： 5  ページ： 56-60  発行年： 1971年 
JST資料番号： R0023A  ISSN： 0372-2929  CODEN： TVMTA   資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 旧ソビエト連邦 (SUN)  言語： ロシア語 (RU)

抄録/ポイント： 実験計画法を用いて,Si単結晶の成長過程におよぼす,冷却水の温度,装てん量,引張り速度,刺激剤の回転速度,るつぼの高さなどの影響を明らかにした。分散分析によって,現存の自動化方法が不十分であることを示した;写図2表4参5

シソーラス用語： けい素 ,  自動化 ,  単結晶
準シソーラス用語： 統計学的方法

タイトルに関連する用語 (4件)： 統計学 ,  Si単結晶 ,  成長 ,  研究