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J-GLOBAL ID:201602008356910166 整理番号:72A0255634
電子装置の欠陥検出のための自動切断・監視装置
Automatic cross-sectioning and monitoring system locates defects in electronic devices.
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資料名:
NASA Tech Brief (NASA Technical Brief)
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号:
71-10221
ページ:
1p
発行年:
1971年
JST資料番号:
A0611A
CODEN:
NSTBA
資料種別:
技術報告 (T)
記事区分:
解説
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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集積回路の短絡などの製造欠陥を正確に標定するためにサンプルを研摩・ラッピングして,測定を行なう装置の概要を説明;写図1
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