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J-GLOBAL ID：201602008416041820   整理番号：70A0033906

スバッタで蒸着した304Lステンレス鋼のミクロ組織

Microstructure of sputter-deposited 304L stainless steel.

著者 (4件)： DAHLGREN S D ,  McCLANAHAN E D ,  JOHNSTON J W ,  GRAYBEAL A G
資料名： J Vac Sci Technol  (Journal of Vacuum Science & Technology)
巻： 7  号： 3  ページ： 398-402  発行年： 1970年 
JST資料番号： C0789A  ISSN： 0022-5355  CODEN： JVSTAL  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 三極スパッタにより蒸着速度(1).002-0.00(1)75in/hでステンレス鋼膜を成作した。厚さは0.002-0.064inである。蒸着膜の組成,構造と厚さの関係,微小構造の温度依存性などについて検討した;写図6表1参6

シソーラス用語： ステンレス鋼 ,  ミクロ組織 ,  蒸着膜
準シソーラス用語： スパッタ膜

タイトルに関連する用語 (4件)： 蒸着 ,  304L ,  ステンレス鋼 ,  ミクロ組織