抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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米国のE-H Research Laboratoriesが開発した4500形LSIテスタを中心にして,バイポーラまたはMOSへの応用について解説した。 このLSIテスタは.直流パラメー久機能および実時間を含む全ての試験過程を処理することができ.20ピンの試験が可能である。各種付属機器による試験範囲拡張の可能性およびソフトウェアについても述べた