文献
J-GLOBAL ID：201602008569596813 整理番号：70A0033445
rfスバッタ電源の設計の新しい方式
New approach to rf-sputter power supply design.
出版者サイト
複写サービスで全文入手
高度な検索・分析はJDreamⅢで
著者 (2件)：
ENSSLIN F H
ENSSLIN F H について
「ENSSLIN F H」ですべてを検索
,
ZALONIS M R
ZALONIS M R について
「ZALONIS M R」ですべてを検索
資料名：
J Vac Sci Technol (Journal of Vacuum Science & Technology)
J Vac Sci Technol について
JST資料番号 C0789A ですべてを検索
ISSN,ISBN,CODENですべてを検索
資料情報を見る
巻：
7
号：
1
ページ：
254-256
発行年：
1970年
JST資料番号：
C0789A
ISSN：
0022-5355
CODEN：
JVSTAL
資料種別：
逐次刊行物 (A)
記事区分：
原著論文
発行国：
アメリカ合衆国 (USA)
言語：
英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
rf伝送線とマッチング回路網を消去した。一次コイル側の交流発振器を二次コイルに直接結合したターゲットのフランジに直接とう載。その結果.装置の小型化.高周波電力損失の減少従って全体効率の上昇.電源の部品の減少となった;写図2参6
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
スパッタ
スパッタ について
「スパッタ」ですべてを検索
この用語の用語情報を見る
タイトルに関連する用語 (2件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
RF
RF について
「RF」ですべてを検索
この用語の用語情報を見る
,
設計
設計 について
「設計」ですべてを検索
この用語の用語情報を見る
前のページに戻る
TOP
BOTTOM
