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J-GLOBAL ID：201602008605556041   整理番号：71A0242773

ツオトレジストはく離用プラズママシン(OPM-L-1200型)

著者 (3件)： 浅見清 ,  中根久 ,  植原あきら
資料名： 非削加工
巻： 2  号： 7  ページ： 94-97,103  発行年： 1971年 
JST資料番号： F0872B  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： IC・LSIなどの電子素子を作る際.半導体ウエハー上に感光性樹脂康(フォトレジスト)にて回路を抽き,エッチング.不純物拡散など種々の加工が行なわれている。このあと不要になったフォトレジストははく離されねばならない。フォトレジストはく離には,健康管理・公害防止および経済性など解決しなければならない点が多かったが,理想的に近いプラズママシンが完成したので概要を紹介;写図7表1参4

シソーラス用語： はく離 ,  フォトレジスト ,  プラズマ ,  集積回路

タイトルに関連する用語 (3件)： はく離 ,  プラズマ ,  マシン