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J-GLOBAL ID：201602008618262225   整理番号：72A0258573

タンタル薄膜固定抵抗器の量産技術

著者 (1件)： 遠藤恒彦
資料名： 電子材料  (Electronic Parts and Materials)
巻： 10  号： 11  ページ： 126-134  発行年： 1971年 
JST資料番号： F0040A  ISSN： 0387-0774  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 非対称交流スパッタ法によるタンタル薄膜固定抵抗器について注として量産上苦心した点を報告した。円筒状基体を用いた場合のスパッタ法.基体の材質に関する問題,スパッタ装置の構造.スパ,タ装置の運転条件の決定.タンタル薄膜抵抗器の製造規格について解説した

シソーラス用語： スパッタリング ,  抵抗器 ,  薄膜抵抗
準シソーラス用語： タンタル薄膜 ,  基板材料 ,  製造技術

タイトルに関連する用語 (4件)： タンタル ,  薄膜 ,  固定抵抗器 ,  量産