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J-GLOBAL ID：201602008834592710   整理番号：70A0030207

臨界領域におけるイオンエネルギーにたいするスパッタ係数の依存の特徴

О характере зависимости коэффициента распыления от энергии ионов в припо роговой области.

著者 (1件)： АСКЕРОВ Ш Г
資料名： Fiz Tverd Tela  (Fizika Tverdogo Tela)
巻： 12  号： 2  ページ： 660-661  発行年： 1970年 
JST資料番号： R0029B  ISSN： 0367-3294  CODEN： FTVTA   資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 旧ソビエト連邦 (SUN)  言語： ロシア語 (RU)

抄録/ポイント： ターゲットが単結晶る場合と多結晶の場合とて実験的に得られたスパッタ係数Sのイオンエネルギー依存性が異ることを考察した。単結晶ではSはエネルギーEの一次関数でああり,多結晶では三次関数である。臨界領域の近くで観測されるの線形性からのずれは,ターゲットの表面の多結晶構造によるものであことを結論した;写図1参4

シソーラス用語： スパッタ ,  銀
準シソーラス用語： 多結晶性

タイトルに関連する用語 (4件)： 臨界 ,  イオンエネルギー ,  スパッタ ,  係数