抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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比較的大きい孔がいくつかあいている板を上部に,管と結合している板が下部に,中間には2枚のうすい弾性のあるシートが上部の板の孔の大きさにそれぞれ超音波接合され,下部からの管と結合している。管を通して圧力が加わるとその部分がふくれて上部の孔の中に入れられた駆動板が動作する;写図1