抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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表面のミクロな断面の形状を一次元的にとらえて材料の表面のあらさを調べる触断面装置法について詳しく述べている。この方法の原理,問題点,ミクロジオメトリについてふれて,次に測定装置,測定結果に対する各要因の影響,適用限界および精度限界,測定条件および測定値の解釈,個々のパラメータの効果について述べている;写図9