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J-GLOBAL ID：201602008967933188   整理番号：71A0000465

質量分析計による標準漏れの校正

Analytical mass spectrometer calibration of standard leaks.

著者 (1件)： MASON T M
資料名： Instrum Control Syst  (Instrument & Automation)
巻： 43  号： 8  ページ： 73-74  発行年： 1970年 
JST資料番号： C0195A  ISSN： 0020-4404  CODEN： INCSA   資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 残留ガス分析計などの真空技術関係機器の校正に使う標準漏れの動作を校正あるいは検定する方法について説明。質量分析計を使う方渓である。校正の正確さなどを解説した;表3

シソーラス用語： 校正
準シソーラス用語： 質量分析計法 ,  漏れ標準 ,  漏れ標準(校正/質量分析計法)

タイトルに関連する用語 (3件)： 質量分析計 ,  標準 ,  校正