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J-GLOBAL ID:201602009111974289   整理番号:72A0043348

熱処理した引上げシリコン結晶中の熱的ドナー形成におよぼす炭素の影響

The effect of carbon on thermal donor formation in heat treated pulled silicon crystals.
著者 (2件):
資料名:
巻: 33  号:ページ: 255-268  発行年: 1972年 
JST資料番号: C0202A  ISSN: 0022-3697  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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赤外局在モード吸収の測定から,400-550°Cの温度で熱処理した引上げシリコン結晶中に少なくとも4種の炭素一酸素複合体の形成を確認。炭素が高濃度で含まれているため,430°Cでの加熱試料も酸素クラスターに帰着される熱的ドナーの形成を阻害。これを説明するためのモデルを提出。ドナー中心からの電子吸収バンドは,数種の複合体が形成され,一部は伝導バンドから0.05および0.2eVの準位の二重ドナーとして作用することを示す;写図8表4参25
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