抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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赤外局在モード吸収の測定から,400-550°Cの温度で熱処理した引上げシリコン結晶中に少なくとも4種の炭素一酸素複合体の形成を確認。炭素が高濃度で含まれているため,430°Cでの加熱試料も酸素クラスターに帰着される熱的ドナーの形成を阻害。これを説明するためのモデルを提出。ドナー中心からの電子吸収バンドは,数種の複合体が形成され,一部は伝導バンドから0.05および0.2eVの準位の二重ドナーとして作用することを示す;写図8表4参25