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J-GLOBAL ID：201602009196085119   整理番号：71A0241463

タンタル膜抵抗の陽極酸化法による調整

Prekictive adjustment of tantalum film resistors by anodization.

著者 (2件)： CUTLER D R ,  SWENSON E J
資料名： IEEE Int Conv Dig  (IEEE International Convention Digest)
号： Digest  ページ： 574-575  発行年： 1971年 
JST資料番号： C0216B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 予稿  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： タンタルまたは窒化タンタル膜の蒸着によって得られる高精度抵抗の精度は予め蒸着の際,各種の方法で調整されるが,最終的にはトミングによって調整する。トリミング技術の一つに陽極酸化法とい方法がある。これは金属タンタル膜を電界液につけて電流を流すことにより表面に酸化タンタルの絶縁層を成長させて,タンクル膜の抵抗値を調整する方法である。大量処理においてはモニタに高速偏差ブリッジを用いて,陽極酸化反応のサイクルを調整し.予め設定した抵抗値に達した時に停止するシステムについて述べた;写図4

シソーラス用語： 薄膜抵抗 ,  陽極酸化
準シソーラス用語： タンタル薄膜

タイトルに関連する用語 (3件)： タンタル ,  膜抵抗 ,  陽極酸化法