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J-GLOBAL ID：201602009372061680   整理番号：71A0029482

陽極冷却板

Anode cooling plate.

著者 (3件)： FINK O J ,  LEWANDOWSKI W F ,  THEODOSEAU N
資料名： IBM Tech Disclosure Bull  (IBM Technical Disclosure Bulletin)
巻： 13  号： 1  ページ： 18  発行年： 1970年 
JST資料番号： E0292B  ISSN： 0018-8689  CODEN： IBMTA   資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 二酸化シリコンスパッタリング系の厚い銅の冷却板はそり易い。陽極の下には,窒素が流れるみぞをエッチングした冷却板を置き,みぞにはふたをする。エッチングしたみぞの壁を薄くし,熱交換をよくしてそりを防ぐためには,みぞ板とふたはモリブデン製にする。これらの構造を図解した;写図1

シソーラス用語： スパッタリング装置
準シソーラス用語： スパッタリング装置(陽極冷却板) ,  スバツタリング装置用 ,  陽極冷却板 ,  陽極冷却板(スバツタリング装置用)

タイトルに関連する用語 (2件)： 陽極 ,  冷却板