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文献
J-GLOBAL ID:201602009386921975   整理番号:60A0034934

電子ビームによる加工技術

Electron beam processes for microcircuit fabrication.
著者 (1件):
資料名:
巻: 33  号: 29  ページ: 59-63  発行年: 1960年
JST資料番号: B0455B  ISSN: 0013-5070  CODEN: ELECA   資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: アメリカ合衆国 (USA) 
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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近時マイクロ電子回路の発達とともに,この加工に電子ビームが使用されるようになった。その装置の概要を示す.電子ピームは磁気調整系により磁気レンズの軸上を走り,偏向制御により加エ物にぶつかる。ビームは50~5,000C/SのパルスでOn,offされ,パルス幅は100~5μsの程度であり,これに使用される電圧は数10~100kv,真空度は10-6~10-10mm,電子ピームスポットは馬/1,000~句仕,000エからその1/10程度である.カールツアイス社その他で各用途に応じた設計の加工装置をつくっている
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