抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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MOSトランジスタの特性に及ぼす機械的ひずみの効果を調べた。測定には60H
zで振動する片持ちばりによる圧力印加法を用いた。理論的には圧力による移動度の変化による相互コンダクタンスの変化が大きく,寸法の変形によって期待される50倍の感度を有することが予想されるが,実験的にもこれを確認できた。この効果のために,製造中の残留ひずみによって特性に好ましくない影響を与えることがある;写図4参4