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J-GLOBAL ID：201602009462172472   整理番号：73A0023576

2次イオン質重分析(SIMS)による固体表面の研究

Surface investigation of solids by the statical method of secondary ion mass spectroscopy (SIMS) .

著者 (1件)： BENNINGHOVEN A
資料名： Surf Sci  (Surface Science)
巻： 35  号： 1  ページ： 427-457  発行年： 1973年 
JST資料番号： C0129B  ISSN： 0039-6028  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 固体表面の物理,化学的性質を決定する手段としてAnger’s子分光,X線電子分光などがあるが,2次イオン質重分析法は表面層の化学組成を調べるのに有効である。この方法ではターゲット(0.1ぽ)表面をわずかの1次イオン電流(io。Acm-2)で照射し個々の単分子〓。に対して数時間のスパッタリングを行い,この2次イオンの質量分析から表面層の組成を知る;写図27表2参36

シソーラス用語： イオンビーム ,  スパッタリング ,  質量分析 ,  単分子層 ,  二次イオン放出 ,  表面構造

タイトルに関連する用語 (5件)： 2次イオン ,  分析 ,  SIMS ,  固体表面 ,  研究