抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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前表面イメージング,線間輸送,2相ステジプ酸化膜,SiケートCCDレジスタをもっ表面チャネルCCDライン・イメージング素子の特性を検討した。1×64CCDの線アレイを解析し,設計,低光レベルでの特性評価をのべ,収集ダイオードでの電荷によってSN比を求めた。絵素海用20us積分時間1.32msで,80dBのダイナミ。ク範囲と135電子の雑音等価信号を得た。独特なCMOS読出し回路によってスイッチングの雑音を防いでいる;写図13表2参14