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J-GLOBAL ID：201602009713042301   整理番号：60A0100709

半導体種結晶製造用炉の磁気増幅器制御

Magnetic-amplifier control system for furnace used in seed-crystal production of semiconductors.
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資料名：
Instrum Control Syst  (Instrument & Automation)

Instrum Control Syst について


巻： 33  号： 4  ページ： 623  発行年： 1960年 
JST資料番号： C0195A  ISSN： 0020-4404  CODEN： INCSA   資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： アメリカ合衆国 (USA) 
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誘導電気炉の温度をパイロメータで検出し熱電椎に集中せしめると電圧を生ずる.パイロメータは時定数=0.5sの速い応答を示すこの電圧をプログラム制御器を通じて磁気増幅器に入れ,これからさらに可飽和リアクトルを通じて電気炉の発振器を制御する.電源電圧変勤の影響は制御器と発振器間で負帰還で除いている.各使用機器の社名と型名がある
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種結晶

種結晶 について

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磁気増幅器

磁気増幅器 について


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