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J-GLOBAL ID：201602009756561841   整理番号：70A0010911

走査電子顕微鏡の電気的接点をもつ試料ホルダ

Sample holder with electrical contacts for scanning electron microscope.

著者 (2件)： BLAZEK H F ,  THOMAS J E
資料名： Rev Sci Instrum  (Review of Scientific Instruments)
巻： 41  号： 1  ページ： 135-136  発行年： 1970年 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ケンブリッジ製の走査電子顕微鏡の試料ホルダとしてTO。8のパッケージを応用することを考える。この本体は金をおおったKovarであり.他の多くの金属と結合でき,10-7Torr以下の良い真空をシールすることができ,試料に電圧を印加するのに使える12個の端子をもっている。このパッケージの構造について述べる;写図2

シソーラス用語： 走査電子顕微鏡 ,  電気接点
準シソーラス用語： 試料ホルダ

タイトルに関連する用語 (2件)： 走査電子顕微鏡 ,  試料ホルダ