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J-GLOBAL ID：201602009874253876   整理番号：70A0037212

MOSコンデンサの電荷蓄積の電子ビーム検出

Electron beam detection of charge storage in MOS capacitors.

著者 (3件)： HUBER E E Jr ,  COHEN M S ,  SMITH D O
資料名： Appl Phys Lett  (Applied Physics Letters)
巻： 16  号： 4  ページ： 147-149  発行年： 1970年 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 金属一SioビSlコンデンサの電荷蓄積状態の破壊的検出法を与える。この方法は.コンデンサに進入した電子ビームで発生する電子一正孔対分離効率が電荷で変調されることを利用したものである;写図3参5

シソーラス用語： 電子照射
準シソーラス用語： MOSコンデンサ ,  電荷蓄積検出法

タイトルに関連する用語 (3件)： MOSコンデンサ ,  電荷蓄積 ,  電子ビーム