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J-GLOBAL ID:201602009897488080   整理番号:74A0237909

大電力GaAs FET増幅器一多数ゲート構造

High-power GaAs FET amplifier. A multigate structure.
著者 (6件):
資料名:
巻: 16  ページ: 82-83  発行年: 1973年 
JST資料番号: D0753A  ISSN: 0193-6530  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 解説  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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二重エピタキシャル層,多数ゲートのGaAs FETを開発し,1個のFETで,4GHzにおいて800mWの出力を得ている。Cr添加基板上にSe添加した2-4×1016cm-3の電子のエビを成長し,さらに高濃度のエビ層を成長させソース,ドレインのオーム性電極をつけ,これをマスクに高濃度層をエッチオフして,V形状のSchottkyゲートを8個並列にセルフアライメントゲート法で作成している。ゲートボンディングパッドは8個ある。最大出力は,1dB利得コンプレッション時に800mW,ドレインバイアスは11.5V,ゲートバイアスは4~5Vである;写図4
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