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J-GLOBAL ID：201602010236059831 整理番号：71A0007885
偏光測定の精度
Precision of ellipsometric measurement.
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著者 (1件)：
SCHMIDT E
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資料名：
J Opt Soc Am (Journal of the Optical Society of America)
J Opt Soc Am について
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巻：
60
号：
4
ページ：
490-494
発行年：
1970年
JST資料番号：
C0327A
ISSN：
0030-3941
CODEN：
JOSAA
資料種別：
逐次刊行物 (A)
記事区分：
原著論文
発行国：
アメリカ合衆国 (USA)
言語：
英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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偏光解析法は薄膜の光学定数を求める方法として広く用いられており,他の方法では不可能な高精度の測定が可能な場合があるが,1)装置の不完全さ.2)△とψの測定誤差,3)△、ψから光学定数を求める際の誤差等が問題になっている。この内の2)について,△とψの測定誤差を最小にするような測定法を検討し,これを5段階にわけて詳細に示した。この方法を用いれば,一般の方法に比べて測定精度を1けたあげることができる。光学定数を求める際に幾分複雑な取扱いをしなければならないのが難点である;写図7参7
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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