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J-GLOBAL ID:201602010406998285 整理番号:71A0247531
水銀滴下による容量測定
Mercury drop for capacitance measurement.
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著者 (1件):
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資料名:
IBM Tech Disclosure Bull (IBM Technical Disclosure Bulletin)
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巻:
13
号:
7
ページ:
1806
発行年:
1970年
JST資料番号:
E0292B
ISSN:
0018-8689
CODEN:
IBMTA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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MIS素子の電気容量測定に簡単な方法として,水銀滴下法が利用できる。この方法によれば.絶縁膜厚および絶縁膜の性質が既知の時ウェーバをセットして測定完了まで1分以下である;写図1
準シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
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